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隧道潔凈室的基本模型
隧道潔凈室最初是由潔凈工作臺隧道發(fā)展改進(jìn)而來的,如把垂直于方向長如隧道的潔凈空間的一個(gè)橫截面。但是這和在現(xiàn)場把潔凈工作臺連起來的潔凈隧道又不同,由于有空調(diào)進(jìn)風(fēng)并可調(diào)節(jié)其與凈化送風(fēng)的比例,故可實(shí)現(xiàn)隧道內(nèi)的溫度調(diào)節(jié)。由于室內(nèi)排氣要穿過工作臺循環(huán),則對臺面仍有污染的可能,而且在界面處的誘導(dǎo)也是難免的,所以這種形式即使用0.1um高效過濾器,保持10級也有一定困難。于是將工作臺隧道置于全面回風(fēng)的潔凈室內(nèi),雖然上述問題得到一定解決,但可以看到隧道的回風(fēng)是參與全室回風(fēng)的,則前述由于回風(fēng)速度不均勻而產(chǎn)生的偏流等影響將發(fā)生,當(dāng)然還有不經(jīng)濟(jì)以及一些使用上的問題,所以隧道內(nèi)保持潔凈級別也不容易。
為了改善回風(fēng)穿過工作臺和共用回風(fēng)道的情況,提出了另一種方案,即將工作臺隧道置于亂流潔凈室中,而回風(fēng)口在亂流潔凈室中央。兩方案的差別是在空凋方案上。
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